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德REXROTH滾珠絲桿傳動(dòng)系統(tǒng)Z2FS6-2-43/2QV 輸入信號(hào)增大，供氣用電磁閥導(dǎo)閥1換向，而排氣用電磁導(dǎo)閥7處于復(fù)位狀態(tài)，則供氣壓力從SUP口通過(guò)閥1進(jìn)入導(dǎo)室5，導(dǎo)室壓力上升，氣壓力作用在膜片2的上方，則和膜片2相連的供氣閥芯4便開(kāi)啟，排氣閥芯3關(guān)閉，產(chǎn)生輸出壓力。此輸出壓力通過(guò)壓力傳感器6反饋控制回路8。